产品信息 特 点 采用分光干涉法 搭载高精度fft膜厚解析系统（ 第4834847号） 使用光学光纤，可灵活构筑测量系统 可嵌入至各种制造设备。 实时测量膜厚 可对应远程操作、多点测量...
嵌入式膜厚检测仪 产品详情
产品信息
特 点
•采用分光干涉法
•搭载高精度fft膜厚解析系统（ 第4834847号）
•使用光学光纤，可灵活构筑测量系统
•可嵌入至各种制造设备。
•实时测量膜厚
•可对应远程操作、多点测量
•采用寿命长、安全性高的白色led光源
测量项目
·多层膜厚解析
用 途
•光学薄膜（超硬涂层、ar薄膜、ito等）
•fpd相关（光刻胶、soi、sio2等）
设备构成
单点型
•半导体晶圆的面内分布测量
•玻璃基板的面内分布测量
多点型
•实时测量
•流向品质管理
•真空室适用
导线型
•实时测量
•宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析