k1000为高精度，高稳定性的热式质量流量控制器。它的量程范围从10sccm到1000sccm，k1000a为小流量量程mfc（从10sccm~50slm），具备多气体多量程功能，8种bin size能对应10sccm～50slm的所有流量，在校正时事先设定4种气体的数据，通过软件即可进行气体种类、流量的变更设定，操作简便；k1000c为大流量量程（200slm~1000slm），响应速度快（≤3......
k1000质量流量控制器 产品详情
优势
• 传感器部分采用哈氏合金，耐腐蚀性强。
• 产品精度高，可达～25%：±1.0% of s.p.、25%～2%：±0.25%f.s. 响应时间快(≤1s)
• 产品具有多气体多量程功能，可对气体种类、流量的变更设定
• 支持大流量(可到1000l)数字模式通讯模式
• 产品通过ce、rohs认证
技术参数
型号
k1000a
k1000b
k1000c
流量规格(n2换算流量)
bin 1: 10 sccm ~30sccm
bin 2: 30 sccm ~100sccm　
bin 6: 3slm ~10slm
60slm 、100slm、
200slm、300slm、
bin 3: 100sccm~300sccm
bin 7: 10slm~ 30slm
bin 8: 30 slm ~50slm
150slm、200slm
400slm、500slm
600slm、1000slm（n2, h2, air 等)
bin 4: 300 sccm ~1slm
bin 5: 1slm ~3slm
阀类型
n/o：常开型、n/c：常闭型
n/c：常闭型
流量控制范围
2%～f.s.
准确度
～25%：±1.0% of s.p.，
25%～2%：±0.25%f.s.
（精度保证范围15～35℃）
±1%f.s.(精度保证范围15～35℃)
±2%f.s.(精度保证范围15～35℃)
工作环境温度
5～50℃
5～45℃
响应时间
≦1sec
≦3sec
线性
±0.5%f.s.
重复精度
±0.2%f.s.
工作压差范围
n/o　100～300kpa (3slm～10slm)
50～300kpa
n/o　150～300kpa (11slm～30slm)
200～300kpa
（ar: 100～300kpa）
n/c 　100～300kpa (3slm～30slm)
（ar: 250～450kpa）
100～300kpa
150～300kpa
300～450kpa (h2：150～300kpa)
（ar 200～3500kpa）
温度系数
zero:±0.1%f.s./℃ span: ±0.1%f.s./℃
工作压力
400kpa（ar:500kpa）
700kpa
耐压
1mpa
漏率
金属密封：1×10－11pa・m3/sec he (1×10－10atm・cc/sec he)
橡胶圈密封：1×10-7pa・m3/sec he (1×10－6atm・cc/sec he)
橡胶圈密封：1×10－7pa・m3/sec he (1×10－6 atm・cc/sec he)
密封材料
金属密封；氟橡胶；氯丁橡胶
氟橡胶；氯丁橡胶
通讯形式
模拟：0~5v dc 数字：rs485、devicenet、ethercat
模拟：0~5v dc 数字：rs485、devicenet、
电源
模拟/数字：+15vdc 50ma，-15vdc 200ma; devicenet：+11~+24vdc，5.5va(5.5w)
标准接头形式
vcr 1/4阳接头、双卡套1/4阳接头、1.5'' w-seal、1.125'' w-seal、1.125'' c-seal
vcr 3/8阳接头、双卡套3/8阳接头
vcr 1/2阳接头、双卡套1/2阳接头
重量
1.0kg
3.0kg
3.7kg
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