d07-11是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(mfm)可以精密测量气体的质量流量。d07-11产品是七星流量计研发的高压产品,耐压10mpa。
d07-11质量流量控制器&流量计 产品详情
特点
• 高耐压性
• 橡胶密封、模拟电路的mfc
• 采用db15型电插头,标准机械接头
• ce认证,兼容
技术参数
编号
项目
d07-11c
d07-11cm
1
流量规格
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) sccm
( 0~1,2,3,5,10,20,30) slm
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) sccm
( 0~1,2,3,5,10,20,30) slm
2
准确度
±1 %f.s(20,30slm:±2 %f.s)
±1 %f.s(20,30slm:±2 %f.s)
3
线性
±0.5%f.s(20,30slm:±2 %f.s)
±0.5%f.s(20,30slm:±2 %f.s)
4
重复精度
±0.2%f.s
±0.2%f.s
5
响应时间
电特性: 10 sec 气特性: ≤4 sec
6
工作压力
10mpa
-
7
气压降
-
< 0.02 mpa
8
工作压差范围
≤10slm (0.2 ~ 0.8)mpa
>10slm (0.2 ~ 0.6)mpa
-
9
耐压
10mpa
10mpa
10
工作环境温度
5 ℃ ~ 45 ℃
5 ℃ ~ 45 ℃
11
输入输出信号
0 v ~ +5.00v
(输入阻抗大于100k, 输出电流不大于3ma)
12
电源
+15 v 50ma
-15v200ma
13
外形尺寸
详见图4
14
重量
1.2kg
1kg
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