美国setra217超高纯压力变送器
美国setra217超高纯压力变送器 产品详情
setra 217 型压力变送器专为模块式“block”气体棒和面板设计,非常适合恶劣环境(例如冷气流导致的温度瞬变)下的压力测量应用。
217 型压力变送器可选带c 型或w 型密封的朝下安装的压力端口,带有易于吹扫的小型传感器腔室。所有接液部件均采用vim/var 316l不锈钢制造,且表面钝化抛光至5 ra( 大7 ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。每个传感器都采用质谱仪进行了1 x 10-9 atm.cc/sec 级别的氦渗漏试验。
setra 所有的超高纯系列产品都基于setra 成熟的电容传感技术制造,能提供几乎不受emi/rfi 干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。
■ 泄露率低
■ vcr 接头
■ 易于吹扫的小腔室
■ 200psi/250psi/3000psi
特性
·316 l vim/var 不锈钢
·表面抛光度7 ra
·vcr 接头
·1×10-9 atm.cc/sec 级别的氨渗漏实验
·出色的稳定性,避免停机
·可选带c 型或w 型密封的压力端口
·抗电磁干扰/ 射频干扰,可防止误停机
·易于吹扫
·符合ce 和rohs 标准要求
应用
·模块式“block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
性能参数
物理参数
精度rss(恒温下)
±0.25%fs或±1.0%读数
壳体
不锈钢
非线性(拟合直线)
±0.15%fs
电气连接
6英尺多芯电缆、卡口或d-sub接头
迟滞
0.20%fs
压力接口
朝下安装的c型或w型密封
非重复性
0.02%fs
通气
零点盒满量程处的检修孔
电气参数(电流)
重量
约184g
电路
2线
电气参数(电压)
输出6
4~20ma2
电路
3线(com,out,exc)
外部负载
0~800ω
输出4
0~5vdc或0.2~5.2vdc5
0~10vdc或0.2~10.2vdc5
小供电电压(vdc)
10+0.02x(接收器附加导线电阻)
激励
5vfso(满量程输出)时为10~30vdc
10vfso(满量程输出)时为13~30vdc
大供电电压(vdc)
30+0.004x(接收器附加导线电阻)
电流消耗
<8ma
温度影响2
环境参数
压力介质
温度补偿范围
-9~65℃
工作温度3
-40℃~+85℃
与316l不锈钢兼容的气体或液体的
零点/满程漂移
1.8%(%fs/50℃)
存放温度
-40℃~+85℃
1.非线性、迟滞、非重复性的方和根
2.产品在21℃进行标定,大温度影响误差由此数据得来
3.电子元件的工作温度限制,压力介质的温度可能明显较高或较低
4.采用50kω负载进行标定,可在负载≥5k时工作
5.零点(满量程)输出:对于5vdc输出,出厂设置在±25ma以内;对于10vdc输出,出厂设置在±50mv以内
6.出厂标定时采用250ω负载,负载24vdc电源
零点(满量程)输出:出厂设置在±0.08ma以内