简单介绍: al120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆,可以安全高效搬送薄片晶圆,非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。
al120显微镜 产品详情
详情介绍:
al120晶圆搬送机可相匹配200mm下列晶圆尺寸的硅、化合物晶圆,能够安全性高效率搬送薄片晶圆,特别适合于前道到后道工程项目的晶圆查验。
晶片trickness米将超薄晶圆片移至90微米为了满足更薄的晶圆片的挑战要求,奥林巴斯特别设计了转移臂,现在允许25个200毫米晶圆片的完整盒式磁带安全转移和检查,厚度可达90微米。晶圆片厚度*多可通过控制面板预先设定。
晶片trickness米将超薄晶圆片移至90微米为了满足更薄的晶圆片的挑战要求,奥林巴斯特别设计了转移臂,现在允许25个200毫米晶圆片的完整盒式磁带安全转移和检查,厚度可达90微米。晶圆片厚度*多可通过控制面板预先设定。