设备名称：酸清洗台适用于：2-6寸硅片清洗总体规格：1200mm(l)×1100mm(w)×2000mm(h)工件：2-6寸硅片产能：25片/槽
酸清洗台 产品详情
设备名称：酸清洗台
适用于：2-6寸硅片清洗
总体规格： 1200mm(l)×1100mm(w)×2000mm(h)
工件：2-6寸硅片
产能：25片/槽，50片/槽可按客户产能需求设计
设备特点：
1. 设备骨架为sus304外包3mmpp，外壳采用德国进口pp-w板焊接
2.采用10.4英寸“proface”触摸屏人机界面操作和“西门子”plc控制
3.槽体设置温度、液位监控装置；
4.药液槽配透明槽盖，有效防止药液挥发，污染；
5.清洗区域配有高效过滤器，无二次污染机会；