日本科赋乐金属密封式质量流量控制器使用时进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净（湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米）。
5400金属密封式质量流量控制器 产品详情
日本科赋乐金属密封式质量流量控制器
日本kofloc5400系列质量流量控制器-金属密封
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15vdc供电性能稳定，0-5v模拟信号更加通用
日本科赋乐金属密封式质量流量控制器
性能参数
量程(n2)
10sccm-20slpm(另外50slm
精度
±1.0%fs
重复性
±0.2%fs
响应时间
1秒以内
耐压
1.0mpa
进口大压力
o.3mpa
动作压差
0.05-0.3mpa
泄漏率
1*10-11pa·m³/s以下
温度范围
5-45℃
湿度范围
10-90%rh(不能结露)
材质
本体sus316l
密封圈sus316l、ptfe
电气接口
db9
模拟信号
0-5v输入/输出
供电
+15vdc(±5%)100ma；-15vdc(±5%)100ma；
管路连接
标配1/4ujr
选配1/8ujr
重量
约1000g
★使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净（湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米）。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0mpa，进口大压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。