刻蚀机
刻蚀机 产品详情
hf刻蚀
均匀性
刻蚀速率均一性：基板内:≤8%
基板间:3%
批次间:3%
基板边缘保证距离：≤5mm
o3成膜
均匀性
刻蚀速率均一性：基板内:≤8%
基板间:4%
批次间:4%
基板边缘保证距离：≤5mm
玻璃表面
接触角
≤5°pureglass
基板边缘保证距离：≤5mm
particle
管控
清洗后颗粒
a:总颗粒数≤15，m+l≤5，l≤0（s：1~3μm
m：3~5μm，l：5μm）
b:颗粒增加：0
c:颗粒去除率＞98%
设备流程
robotinput→euv→buffer→lift+rinse+turn→o3→lift+rinse+turn→hf→lift+rinse+turn→o3→lift+rinse+turn→finalrinse+bj→ak→robotoutput
优势
节约空间；
功能完备，除产能外，性能完全等同量产线，特别适合用于产能要求不高的研发线；
价格低廉，使用方便，各个模块完全独立可独立设置运行。
真萍科技作为专业的烘箱设备制造厂商，可根据客户特殊需求定制您需要的满意产品，有需求的客户。