日本科赋乐微小流量质量流量控制器，应用于多个oem设备场合，尤其适合微小流量测量
日本科赋乐微小流量质量流量控制器 产品详情
日本科赋乐微小流量质量流量控制器
日本kofloc
3200系列质量流量控制器-微小流量
应用于多个oem设备场合，尤其适合微小流量测量
适用于燃气低压力、泄漏测试的低流量、半导体等使用
±15vdc供电性能稳定，0-5v模拟信号更加通用
可定制0.02-1sccm微小流量
日本科赋乐微小流量质量流量控制器
性能参数：
3200质量流量控制器
量程(n2)
1sccm-20slpm、小0.02-1sccm
精度
±1.0%fs
重复性
±0.2%fs
响应时间
1秒以内
耐压
1.0mpa
进口大压力
o.3mpa
动作压差
0.05-0.3mpa
泄漏率
1*10-8pa·m³/s以下
温度范围
5-45℃
湿度范围
10-90%rh(不能结露)
材质
本体sus316l
密封圈nbr、ptfe、fkm等
电气接口
db9
模拟信号
0-5v输入/输出
供电
+15vdc(±5%)100ma；-15vdc(±5%)100ma；
管路连接
标配1/4f9
选配1/8f9、1/4ujr、rc1/4
重量
约1000g
★使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0mpa，进口大压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。