optm系列显微分光膜厚仪使用显微光谱法在微小区域内通过反射率进行测量，可进行高精度膜厚度/光学常数分析。可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的高速测量，并且搭载了即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件
显微分光膜厚仪 产品详情
optm使用显微光谱法在微小区域内通过反射率进行测量，可进行高精度膜厚度/光学常数分析，测量精度媲美椭偏仪，而测量速度远快于椭偏仪。
可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的高速测量，并且搭载了即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件
产品信息
特点
头部集成了薄膜厚度测量所需功能通过显微光谱法测量高精度反射率（多层膜厚度，光学常数）1点1秒高速测量显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）区域传感器的安全机制易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析独立测量头对应各种inline客制化需求支持各种自定义
彩色抗蚀剂（rgb）的薄膜厚度测量[fe - 0003]
液晶显示器的结构通常如右图所示。 cf在一个像素中具有rgb，并且它是非常精细的微小图案。 在cf膜形成方法中，主流是采用应用在玻璃的整个表面上涂覆基于颜料的彩色抗蚀剂，通过光刻对其进行曝光和显影，并且在每个rgb处仅留下图案化的部分的工艺。 在这种情况下，如果彩色抗蚀剂的厚度不恒定，将导致图案变形和作为滤色器导致颜色变化，因此管理膜厚度值很重要。
通过nist（美国国家标准与技术研究院）认证的标准样品进行校准，保证了可追溯性。