美国setra真空电容式压力计美国西特730
美国setra真空电容式压力计美国西特730 产品详情
setra 的730 型是一款高精度的电容式压力计（亦称电容式膜片真空计 (cdg)），适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精度达±0.5%，分辨率高，优于同类产品。730 型使用全inconeltm 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计，它能精确测量介质，不受应用中气体混合物成分的影响。
适合苛刻应用的高性能产品
采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。
inconel® 设计保证通用性
所有接液部件均采用inconel® 材料， 因此对半导体和工业真空过程中的腐蚀性介质具有极高的耐受性。
inconel®材料结合全焊接结构， 确保730型在这类应用中的长使用寿命。
直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业电容式压力计不同，730型测量直接压力， 不受被测混合气的影响，这使其精度优于间接测量型压力计。
应用
·半导体处理室
·石化
·等离子体灭菌器
·真空包装
规格
性能参数
物理参数
电气参数(电压)
精度1
±0.5%读数
±0.25%读数(可选)
压力接口
参见订购信息
激励输出4
12-30vdc/0-10vdc
9-30vdc/0-5vdc
响应时间
﹤20ms
接液材料
lnconel@
电流消耗
﹤10ma(大值)
分辨率
无限，仅受输出噪声的
限制(≤0.005%fs)
电气连接
5针螺钉端子、9针d-sub或15
针d-sub接头(位于6*尾纤上)
输出负载
﹥10kω
温度影响2
壳体
不锈钢
输出阻抗
﹤1ω
补偿范围
0～+50℃
腔室体积
﹤6.0cc
电路
3线制
零点漂移
0.25%fs/50℃
重量(近似值)
﹤250g
压力介质
量程漂移
1.35%读数/50℃
环境参数
与lnoonel@兼容的气体或液体。lnoonel@接液材料仅适用于0.5*管道选项。其他接头选项会添加不锈钢。
*温度性3
0.5%fs/1年,不受环境条件影响
温度
工作温度
0至+80℃
认证
1.包括非线性、非重复性盒迟滞 3.在80℃下运行时,满量程范围小于100torr
2.产品在66℉进行标定,大温 时为±1.0%fs/年
度影响误差由此数据得来 4.采用50kω负载进行标定。可在负载≥5kω时工作
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