电阻介绍:
近年来,随着电子信息技术的快速发展,a/d、d/a 转换电路及其它线性或非线性电路的发展日新月异,其中以薄膜电阻网络为核心的高度运算放大器和高度的 a/d、d/a 转换电路是必不可少的。为了提高adc和 dac 的度和分辨率,薄膜电阻的性能也必须有相应的提高。
dac 和adc 度和分辨率的高低主要取决于器件内部的电阻网络,dac 和adc 转换器件般多选用r-2r 梯形电阻网络。电阻网络性能的分析研究和制作,直是模拟器件研制和生产的关键技术。高密薄膜电阻由于具有高电阻率、低电阻温度系数、高稳定性、无寄生效应和低噪音等优良特性,在航空、电子计算机、通讯仪器、电子交换机等高新领域有了越来越广泛的应用
薄膜电阻器是用蒸发的方法将定电阻率材料蒸镀于缘材料表面制成,具有均匀厚度薄膜电阻的量度。通常被用作评估半导体掺杂的结果。这种工艺的例子有:参杂半导体领域(比如硅或者多晶硅),以及被丝网印刷到薄膜混合微电路基底上的电阻。
薄膜电阻和厚膜电阻的区别是:
其是膜厚的区别,厚膜电路的膜厚般大于10μm,薄膜的膜厚小于10μm,大多处于小于1μm;
其二是制造工艺的区别,厚膜电路般采用丝网印刷工艺,薄膜电路采用的是空蒸发、磁控溅射等工艺方法。
厚膜电阻主要是指采用厚膜工艺印刷而成的电阻。薄膜电阻稳定性的老化过程因实现不同电阻值所需的薄膜厚度而不同,因此在整个电阻范围内是可变的。此外,改变薄膜厚度还会严重影响 tcr。tcr是个不容忽视的微小参数,它的单位是ppm/℃。1%的普通电阻的tcr系数在几千ppm/°c范围内,整体阻值的变化与电阻的材料、实际功率以及物理尺寸有关系。
什么是薄膜电阻?
采用薄膜技术制备的电阻。用诸如空蒸发、磁控溅射等工艺方法,将具有定电阻率的材料沉积在缘基体上,形成具有定厚度的导电膜层,如碳膜、金属膜(nicr、tan2、sicr等)、金属氧化膜等。
膜式电阻,为关键的工艺,是电阻膜层制备。
平常所说的薄膜电阻,指的是片式薄膜电阻器(thin film resistor)。
电阻膜层厚度<1μm的膜称为薄膜;厚度>10μm的膜称为厚膜。
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