美国alicatpc/pcr压力控制器
美国alicatpc/pcr压力控制器 产品详情
50-100毫秒控制响应（消除上游压力波动造成的影响）允许用户自行调节pid以获得的速度和稳定性定制化阀门孔径以保证满量程流量的稳定性pc3系列设有远程压力传感端口，从而允许压力控制器灵活安置可设置成控制背压标准精度 (nist可溯源): +/- 0.25% f.s高精度 (选配): +/- 0.125% f.s线性范围: 0.5-* f.s, 量程可调比 200:1标准压力控制器响应时间常数: 50 毫秒大流量压力控制器响应时间常数: 100 毫秒 (pcr/pcr3/pcrs系列)*压力稳定时间也取决于实际应用中的设置表压 (相对于大气压): 0-2 inh2o(g) 至 0-500 psig (pc)或0-300 psig (pcr), 负压: -15 – 0 psig。*pcs/pcrs小满量程: 0-1 psig绝压 (相对于真空): 0-15 psia 至 0-500 psia (pc)或0-300 psia (pcr)。*pcs/pcrs小满量程: 0-30 psia.差压 (相对压力): 0-2 inh2o(d) 至 0-150 psid (pc/pcr)。*pcs/pcrs满量程范围: 0-1 psid 至 0-100 psid, 负压代表反向压差标准通讯方式: rs-232数字通讯和0-5v模拟通讯选配模拟通讯: 1-5v, 0-10v, 4-20 ma; 第二道模拟输出信号可选配通讯协议: rs-485, modbus rtu (基于rs-232或rs-485), profibus通讯接口: 8针mini-din选配通讯接口: 9针或15针d-sub接口, 可定制引脚分配动态显示设定值、表压、绝压或差压标准显示屏: 2.1″ 单色lcd数字式触摸显示屏选配显示屏: 2.1″ 背光彩色tft数字式触摸显示屏有条件的终身质保对撞击、潮湿环境、安装方向等不敏感压力控制器 (电源需另行订购)nist可溯源校准证书 艾里卡特操作手册 压力控制器用于真空镀膜结合您用得顺手的真空计与艾里卡特pc-extsen压力控制器，可打造的绝压控制方案用于真空沉积。质量流量控制器控制进入腔体的反应气体流量、pc-extsen压力控制器稳定整个腔体压力。