cs100产品是基于七星流量计cs系列产品技术平台开发，在拥有恒功率传感器技术，数字传感器平衡技术，vcp线控制技术的基础上，采用客户定制化设计，客户可根据需要选用符合自身需求的产品，同时其的客户零点补唯功能(cgc)，能够解决由于客户地线连接导致的mfc精度不准问题，使产品更好的适应客户环境。
cs100质量流量控制器&流量计 产品详情
优势
• cs100产品采用客户定制化设计，
• 客户可根据需要选用±15v双电源或+24单电源供电;
• 金属密封或橡胶密封;
• 产品尺寸可选用符合通用的semi标准的产品，也可选用紧缩型产品。
技术参数
cs100
型号
cs100a
cs100d
阀类型
常闭
无
常闭
无
流量规格(n2)
(0～10,20,30,50,100,200,300,500) sccm
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) slm
(0～10,20,30,50,100,200,300,500) sccm
(0～1,2,3,5,10,20,30) slm
准确度
±1.0% s.p. (≥35% f.s.)； ±0.35%f.s.(＜35% f.s.)
线性
±0.5% f.s.
重复精度
±0.2% f.s.
响应时间
≤ 1sec
工作压差范围
0.05～0.35mpa； 流量规格≤10slm
0.1～0.35mpa ； 10＜流量规格≤30slm
0.25～0.45mpa ； 30＜流量规格≤50slm
＜0.02 mpa
0.05～0.35mpa； 流量规格≤10slm
0.1～0.35mpa；10＜流量规格≤30slm
＜0.02 mpa
温度系数
零点: ≤±0.05% f.s/℃； 调节时: ≤±0.1% f.s/℃
耐压
3mpa
10mpa
3mpa
10mpa
漏率
1×10-9pa·m3/ sec he（1×10-8atm·cc/ sec he）
密封材料
氟橡胶
金属密封
工作压力
0.45mpa
工作环境温度
（5～45）℃
输入信号
模拟:
(0～5)vdc
数字: rs485
无
无
模拟:
(0～5)vdc
数字: rs485
无
无
输出信号
模拟:
(0～5)vdc
数字: rs485
模拟: (0～5)vdc
数字: rs485
模拟:
(0～5)vdc
数字: rs485
模拟:
(0～5)vdc
数字: rs485
电源接头形式
d型9针
阳接头；
d型15针
阳接头
d型9针
阳接头；
o型3针
阳接头
d型15针
阳接头
d型9针
阳接头；
d型15针
阳接头
d型9针阳接头；
o型3针阳接头
d型15针阳接头
d型9针
阳接头；
d型15针
阳接头
d型9针
阳接头；
o型3针
阳接头
d型15针
阳接头
d型9针
阳接头；
d型15针
阳接头
d型9针阳接头；
o型3针阳接头
d型15针阳接头
供电电源
±15v
±15v
+24v
±15v
±15v
+24v
±15v
±15v
+24v
±15v
±15v
+24v
自动清零
支持
表面粗糙度
25μinch ra
标准接头形式
双卡套 φ6； 双卡套φ3；双卡套1/4´´；双卡套1/8´´；
vcr1/4´´阳接头；
φ6(内)x1软管接头;φ5(内)x1.5软管接头;φ4(内)x1软管接头
vcr1/4′阳接头
重量
1.2kg
1kg
1.2kg
1kg
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