日本科赋乐数字式质量流量控制器，作为日本kofloc公司全新设计的数字式质量流量控制器，df200c采用全新传感器3000系列比例阀，已经新的pid算法，从而在控制精度、响应速度大大得到了提升。
日本科赋乐数字式质量流量控制器 产品详情
日本科赋乐数字式质量流量控制器
作为日本kofloc公司全新设计的数字式质量流量控制器，df200c采用全新传感器
3000系列比例阀，已经新的pid算法，从而在控制精度、响应速度大大
得到了提升，通讯方面df200采用rj45接口，使用普通网线既可串联99台
大大节省了布线的工作，上市以来得到各个行业客户的认可
精度1%rd
响应速度1秒以内 全量程
可修改满量程
可修改气体种类
rj45接口 更加快捷方便
日本科赋乐数字式质量流量控制器
性能参数：
量程(n2)
3sccm-10slpm(fs)
气体
非腐蚀气体；腐蚀气体单独说明
精度
±1.0%sp(＞35%fs)、
±0.35%fs(≤35%fs)
重复性
±0.25%fs
有效范围
2-
响应时间
1秒以内
耐压
1.0mpa
进口大压力
0.5mpa
工作压差
0.05-0.3mpa
泄漏率
1*10-8pa·m³/s以下
温度范围
5~50℃
精度保证温度
15~35℃
保存温度
-10~60℃
湿度范围
10-90%rh(不能结露)
材质
本体sus316、sus316l
密封圈viton，选配nbr或fkm
电气接口
db9
通讯接口
rj45
模拟信号
0-5v输入/输出
供电
+24vdc(±10%)300ma；±15vdc(±10%)300ma
管路连接
标配1/4f9
选配1/8f9、1/4ujr、rc1/4
重量
约850g