一、产品用途：集成电路圆片胶，bpo胶/pi胶/bcb胶固化，ic（晶圆、cmos、bumping、tsv、mens、指纹识别；集成电路圆片快速退火二、产品特点：1.一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间
12吋晶圆bump烘烤系统全自动高温炉管 产品详情
一、产品用途：
集成电路圆片胶， bpo胶/pi胶/bcb胶固化，ic（晶圆、cmos、bumping、tsv、mens、指纹识别；集成电路圆片快速退火
二、产品特点：
1.一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间。
2.fec加热，升温迅速且均匀度好
3.不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度。
4.自带自清洁功能，可通氢气清洗内腔
三、控制系统
1.人机界面采用触摸屏方式
2.控制器采用嵌入式控制器
3.超温保护为检测器件
4.具有氧含量检测功能
5.运动控制为伺服/步进控制单元
6.传输为专业晶元传输机器人
7.软件具有功能:温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示.
设备名称
12吋晶圆bump烘烤系统全自动高温炉管炉
处理产品
12inch晶圆
处理量
50pcs/管，共100pcs
加热器
温度传感器
上料口
2个
机械手
1个/2个
温度范围
150°c-400°c
升温速率
>30℃/min
降温速率
>5℃/min
加热功率
36kw(单炉)
加热温区
2个
人机界面
15寸触摸屏 门联锁 保证工作区安全
温度控制方式
ssr
程序控制
plc控制
炉膛材料
石英玻璃
保温材料
陶瓷纤维
加热区
风门加热区风套
排气系统
自动排气
技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。