该光敏玻璃采用连熔法生产，具有*的光敏性、均质性。该玻璃一款技术光敏玻璃。该光敏玻璃经过紫外曝光以及热处理后会析出晶体，这些析晶区域在酸腐蚀之后可以形成高深宽比的细小结构和通孔。再经过二次曝光和热处理，玻璃基体可以发生相变形成玻璃陶瓷，以此增强玻璃的机械性能。这些特性使光敏玻璃大量应用在微流控（microfluidics）、无线射频（rf）元件和微机电系统（mems）等领域。光明玻璃晶圆的标准供
高深宽比光敏玻璃 产品详情
该光敏玻璃采用连熔法生产，具有*的光敏性、均质性。该玻璃一款技术光敏玻璃。该光敏玻璃经过紫外曝光以及热处理后会析出晶体，这些析晶区域在酸腐蚀之后可以形成高深宽比的细小结构和通孔。再经过二次曝光和热处理，玻璃基体可以发生相变形成玻璃陶瓷，以此增强玻璃的机械性能。这些特性使光敏玻璃大量应用在微流控（microfluidics）、无线射频（rf）元件和微机电系统（mems）等领域。
光明玻璃晶圆的标准供应尺寸包括直径6英寸或8英寸的晶圆以200x200毫米方形基板，产品厚度则在0.5毫米—1毫米之间，另外可以根据客户需求定制不同尺寸的玻璃片。
光敏玻璃具有一系列优异特性，例如
1、大于10:1的深宽比；
2、*小35微米直径的通孔（0.5mm厚度的玻璃）；
3、*小45微米的间距；
4、大于30:1腐蚀速率（处理区和非处理区）；
5、垂直度大于88度；
6、加工区域粗糙度小于3微米；
7、高度质量均一性：*的熔制工艺确保光敏性均一且具高度重现性；
8、无需光刻胶即可制作微结构；
9、的透光特征（同时表现在可见区和非可见区）；
10、生物兼容性：耐温，化学稳定；
11、环境友好：符合eu-rohs 和 eu-reach规定；
12、光敏玻璃的切割和键合，基本可以沿用传统的加工手段。
光敏玻璃不同尺寸的方孔加工结果
光敏玻璃不同尺寸的圆孔加工结果
采用光敏玻璃加工的复杂结构
光敏玻璃加工结构的表面粗糙度
可提供购买的型号
名称
规格
厚度
名称
规格
厚度
光敏玻璃
直径6英寸
0.5mm
光敏玻璃
方形93*93mm
1.0mm
光敏玻璃
直径6英寸
0.7mm
光敏玻璃
方形93*93mm
1.3mm
光敏玻璃
直径6英寸
1.0mm
光敏玻璃
方形130*130mm
0.5mm
光敏玻璃
直径6英寸
1.3mm
光敏玻璃
方形130*130mm
0.7mm
光敏玻璃
直径8英寸
0.5mm
光敏玻璃
方形130*130mm
1.0mm
光敏玻璃
直径8英寸
0.7mm
光敏玻璃
方形130*130mm
1.3mm
光敏玻璃
直径8英寸
1.0mm
光敏玻璃
方形150*150mm
0.5mm
光敏玻璃
直径8英寸
1.3mm
光敏玻璃
方形150*150mm
0.7mm
光敏玻璃
直径12英寸
0.5mm
光敏玻璃
方形150*150mm
1.0mm
光敏玻璃
直径12英寸
0.7mm
光敏玻璃
方形150*150mm
1.3mm
光敏玻璃
直径12英寸
1.0mm
光敏玻璃
方形175*175mm
0.5mm
光敏玻璃
直径12英寸
1.3mm
光敏玻璃
方形175*175mm
0.7mm
光敏玻璃
方形93*93mm
0.5mm
光敏玻璃
方形175*175mm
1.0mm
光敏玻璃
方形93*93mm
0.7mm
光敏玻璃
方形175*175mm
1.3mm
以上为标准尺寸，可以定做非标尺寸，厚度0.5/0.7/1.0/1.3，外型可定制。
标签:   光敏玻璃 基片