薄膜曲率应力测量仪
薄膜曲率应力测量仪 产品详情
v厂家简介
德国oeg公司成立于1991年，设计制造光学测量和半导体测量仪器，产品属于高精密仪器，设计紧凑操作简单，。深受广大科研用户的认可。
产品包括：
ø 金刚石切片机
ø 晶圆平整度测量、曲率、应力测量
ø 光学测量平台
ø 电子准直镜
ø 线宽、特征尺寸测量仪
ø 接触角、表面张力、表面自由能测量仪
ø mtf测量仪
v晶圆平整度曲率应力测量仪—flatscan光学
光学非接触表面测量仪，能进行大范围2d/3d测量，可测量晶圆应力（薄膜应力），表面半径曲率和斜坡。
flatscan适用于任意种类反射表面的：平整度、波纹度和弯曲（弓/翘曲）及表面轮廓的非接触式自动2d或3d测量，并通过软件计算其薄膜应力，如硅晶圆、镜面、x射线反射镜（多层膜反射镜/goebel镜）、金属表面、抛光的聚合物等等。
v测量原理
表面轮廓：
垂直于样品表面的入射光，经过表面反射后形成的反射角，会因表面轮廓的不同而产生变化。flatscan正是依据测量点之间反射角的变化，通过软件重新计算并构建了样品表面轮廓，实现了全自动高精度的测量。
薄膜应力：
对于薄膜、单层或者多层镀膜的应力，软件主要依据fowkes的理论，通过检测镀膜前后，基板曲率半径的变化量计算得到。比如在半导体行业或者其他应用领域，当反射表面被加工处理后（镀膜或者去镀膜），操作人员能够利用flatscan快速地对晶圆薄膜应力进行检测。
v应用
flatscan适用于任意种类反射表面的，平整度、波纹度和弯曲（弓/翘曲）的非接触式测量，如硅晶圆、镜面、x射线反射镜（多层膜反射镜/goebel镜）、金属表面、抛光的聚合物等。
v产品特性
ø 高测量精度。
ø 非接触式测量。
ø 3d/2d可选。
ø 近似任意大小的可测量面积。
ø 可以检测更高的弯曲度。
ø 适用于较大面积样品的测量。
ø 适用于高弯曲表面，如x射线反射镜（多层膜反射镜）、硅晶圆等。
v产品参数
1. 光学扫描系统
1.1非接触式激光光源测量。
1.2具有自动测量晶圆的曲率，轮廓和薄膜应力功能。
1.3具有3d/2d可选的应力测量模式。
1.4光学系统可测量标准直径200mm、300mm的晶圆及需求的更大的视野。
1.5轮廓测量重复精度100nm。
1.6扫描速度为10mm/s-30mm/s。
1.7光学系统曲率分辨率0.1arcsec，精度1arcsec。
2. 样品台
2.1样品台具有x，y，phi轴自动位移功能，并可以在软件系统中控制和调节。
2.2具有自动调平功能。
3. 数据采集和记录系统
具有方便易用的软件系统，具有方便易用的软件系统，具有友好的用户界面；
软件系统可以采集并记录镀膜前后的表面轮廓和曲率数据，并可以根据镀膜前后；
数据计算薄膜材料的应力分布和翘曲度；
软件可以读出镀膜前后的晶圆曲率半径，显示三维形貌。