电子探针x射线显微分析仪仪器名称：电子探针x射线显微分析仪型号：epma-1600生产厂家：日本岛津公司仪器简介：日本岛津公司的epma－1600型电子探针，由四道谱仪、八块分光晶体组成
电子探针x射线显微分析 产品详情
电子探针x射线显微分析仪 100mm´100mm´50mm
l 样品台最小移动间距为0.01微米，机械系统精密度高
l 可观察二次电子像（sei)，背散射电子像(bei)，吸收电子像，光学显微像，x射线面分布像等。兼顾微区成分定量分析和形貌观察
仪器主要功能及其用途：
l 非破坏分析（分析时，被分析样品不会损坏，可以实现同点重复分析）
l 微米尺度的空间分辨分析
l 轻元素的定量分析
l 元素的面分布分析
l 痕量元素的成分分析
l 精细结构分析
l 适用于材料(陶瓷，合金，半导体材料等）以及矿物、岩石等固体材料的微区化学组成定性和定量分析，微区化学组成线分析，微区化学组成面分析以及材料、矿物和岩石等的微区形貌观察、成分分布图像等，是对试样微区组织结构，表面形貌观察及元素定量分析的效手段。