主要用于一些放气量较少的普通玻璃上镀膜，由于大面积有机玻璃放气量较大，热变形温度低，刚性低，因此现有的真空镀膜机无法镀制大面积有机玻璃。现有的镀膜机蒸发源间呈正方形分布，这样镀出的膜层均匀性差，无法保证大面积有机玻璃在镀制过程中不变形。
厂家转让二手otfc1-300光驰镀膜机
厂家转让二手otfc1-300光驰镀膜机 产品详情
厂家转让二手otfc1-300光驰镀膜机
厂低价出售3台刚下产线 日本光弛真空镀膜机
产品名：otfc-1300
型 式：1300
产品参数：
真空室 sus304,ф1300×1610mm(h)
工件架 ф1130mm
工件架转速 10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制 350nm to 1100nm反射式/透射式
水晶式膜厚计 xtc/3+6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 17cmrf离子源
排气系统 机械泵2个扩散泵polycold（或2个冷凝泵）
性能
达到压力 7.0×10-5pa以下
排气时间 15分（大气压～1.3×10-3pa）
基板温度 ：350℃
工作条件
设备尺寸 约5000mm(w)×6500mm(d)×3500mm(h)
电源 3相,200v,50/60hz,约104kva
水流量 140升/分以上
空气压力 0.5mpa以上
重量 约9000kg
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本装置是为减反射光学薄膜的大批量生产而设计制作的光学镀膜机。
采用了磁流体密封技术的中心旋转式基板架，保证了薄膜产品的重复性与均匀性
优化的排气特性和升温能力使镀膜时间缩短
可以加装用于对应高精度ar镀膜的多层膜用可靠的光控仪 (optional)
日本光驰otfc-1300镀膜机：主要用于量产高精度的带通滤光片产品，包括生物医疗、荧光检测及天文观测用的滤光片，可以使产品的光学性能及稳定性进一步得到保障，满足生物疗领域荧光滤光片对于高对比度、高信噪比、暗黑背景的要求。
otfc-1300镀膜机的基本配置是：搭载了10kv双电子枪，750w的rf射频离子源，光学膜厚监控装置（optorun制，hom2-r-vis350a），低温冷凝器（polycold），油旋转机械泵 （edwards e2m275）罗茨机械泵（edwards eh1200）；多点和环型坩埚可镀200层以上，膜厚可达20000nm之多。这就意味着单片镀膜就可以达到截止深度od5以上，不用再为了达到高od值而再做两片胶合了。从而大大提升了滤光片的成像质量以及产品合格率。
下面介绍其中两个特点：
1.光学膜厚测量控制：
otfc-1300镀膜机是利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程，这就使生产效率得以显著提高。光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚度进行无损的、实时的测量，并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更精准，公差更小，可以做到±0.1nm。
2. rf射频离子源：
（1）加工精度高，便于控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，可以控制尺寸范围。高离子电流密度和均匀分布，照射面积能达到ф1150mm以上。
（2）同使用灯丝型的离子源比较，它的寿命长，污染少。
（3）加工应力、变形极小。离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微细加工，作为一种微观作用，其宏观压力很小，适合于各种材料和低刚度工件的加工，而且加工表面质量高。
（4） 动作安定性高，能长时间运转。