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厂房净化车间乱流式缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长段时间。
厂房净化车间水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,般在下流侧污染较严重。
厂房净化净隧道:以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等提高至10以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:①弹性扩充容易;②维修设备时可在维修区轻易执行。
洁净室地面设计应符合下列规定:
1 洁净室地面应符合生产工艺要求。
2 洁净室地面应平整,耐磨、易清洗、不开裂,且不易积聚静电。
3 地面垫层宜配筋,潮湿地区垫层应由防潮措施。
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上海酷威空气净化科技有限公司汇聚了众多净化技术人才,形成了强有力的工作团队,致力于打造国内未来产品,明星企业,我们坚信依靠我们技术实力、质量管理以及规范的施工队伍和优良的售后服务,不断完善满足客户需求,为创造优良的洁净空间和舒适的工作环境而做出我们的贡献!