现有机型su8240,su8230,su8220及su8010重新整合，衍生而成regulus8240、regulus8230、regulus8220、regulus8100。regulus系列继承了现有机型的观察和分析性能，配备su8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。通过优化电子光学系统，regulus8240/8230/8220在1 kv条件下分辨率提高到......
超高分辨场发射扫描电子显微镜regulus系列 产品详情
超高分辨场发射扫描电子显微镜regulus系列
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现有机型su8240,su8230,su8220及su8010重新整合，衍生而成regulus8240、regulus8230、regulus8220、regulus8100。
regulus系列继承了现有机型的观察和分析性能，配备su8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。
通过优化电子光学系统，regulus8240/8230/8220在1 kv条件下分辨率提高到0.7 nm，regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的性能。
*1regulus8240/8230/8220
特点规格
特点沿用su8200系列的冷场发射电子枪*2采用电子束在flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
(regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kv、regulus8100: 0.8 nm/1 kv)采用污染小、高真空样品仓运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2极低着陆电压下高分辨观察
样品：金颗粒
着陆电压：10 v
超高分辨观察
样品：pt催化剂
加速电压：30 kv
低加速电压下高分辨edx分析
样品：sn球
着陆电压：1.5 kv
*2regulus8240/8230/8220
规格项目regulus 8100regulus 8220regulus 8230regulus 8240
二次电子分辨率0.7 nm
（加速电压15 kv）
0.8 nm
（着陆电压1 kv）*3 0.6 nm（加速电压 15 kv）
0.7 nm（着陆电压 1 kv）*3
着陆电压0.1～2 kv 0.01～20 kv
放大倍率20～1,000,000倍*4 20～2,000,000倍*4
样品台样品台控制3轴马达台（可选5轴马达台） 5轴马达驱动
移动范围x0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～110 mm
y0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～80 mm
r360°
t-5～70°
z1.5～30 mm 1.5～40 mm
再现性- - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
*3减速模式下观察*4以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率
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