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Park Systems 原子力显微镜 XE-15

2022-3-24 16:16:55发布40次查看
产品介绍parkxe-15具有样品兼容性
park systems 原子力显微镜 xe-15 产品详情
产品介绍
park xe-15具有样品兼容性。其多种样品台设计,为不同尺寸、形状、数量的样品提供了方便可靠的测试环境。解耦合的闭环xy扫描器,消除了弯曲效应误差,提供了的线性度。真正的非接触扫描模式,扩大了适合样品种类,同时延长了探针寿命,降低了使用成本。
多样品载物台设计方便同时测量多个样品
一次连续扫描多个样品
最多支持同时放置16个样品
样品移动范围200mm*200mm
消除了xy方向交叉耦合误差
样品和探针分别由独立的闭环扫描器控制
全扫描范围100um*100um水平线性误差
水平线性误差小于2nm
z轴扫描范围25um
真正的非接触扫描延长了探针寿命,保证了高分辨率,保护了样品
z轴伺服速度相比管式扫描器提高了10倍
非接触模式降低了探针磨损,延长了探针寿命
成像分辨率由于同类原子力显微镜
增强了样品兼容性,提高了扫描精度
便利的操作设计
开放式样品空间,样品及探针更换极为方便
预对准探针安装与同轴光路设计方便激光调整
燕尾锁设计方便扫描头拆卸
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