高纯
高纯 产品详情
高纯过滤器 满足semi e49.8-96严格的超高纯气体系统的过滤要求（scf系列）。 具有直通、全焊接结构（fw系列）。全焊接直通型过滤器（fw系列）规格 工作压力 达到6000 psig (413 bar)
压差 达到600psi (41.3 bar)
温度 –20到900℉（–28到482℃）
壳体材料 316不锈钢
滤芯
材料 316l不锈钢烧结式或不锈钢折叠网式
标称孔径 0.5到15µm
端接
类型 世伟洛克卡套管接头、npt、vcr®面密封接头
尺寸 1/4 in.; 6 mm
超高纯（uhp）气体过滤器（scf系列）规格 工作压力 达到3000 psig (206 bar)
压差 达到145 psi (10 bar)
温度 达到122°f (50°c)
大流量 2700 std l/min
壳体材料 316l var 不锈钢
内表面处理 电抛光, 5 µin (0.13 µm) ra
滤芯
材料 高纯氧化铝
过滤等级 > 99.999999 % at 0.003 µm
端接
类型 vcr 面密封接头
尺寸 1/4, 1/2, 和3/4 in.
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