xp-703d微量气体检漏仪/气体泄漏报警仪/气体浓度分析仪砷化三氢、*、 硅烷、氢气、
xp-703d微量气体检漏仪/气体泄漏报警仪/气体浓度分析仪砷化三氢、*、 硅烷、氢气、 产品详情
xp-703d 特长
适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测。
通过报及蜂鸣器即可得知气体泄漏。
规格
xp-703d
检测对象气体
半导体材料气体(砷化三氢、*、 硅烷等)
检测原理
热线型半导体式
能检测的泄漏量
能检测的浓度
砷化三氢
ash3
1.0×10-7
0.2
*
ph3
1.5×10-7
0.3
0.5×10-7
0.1
硅烷
sih4
2.5×10-7
0.5
氢气
h2
5×10-7 pa?m3 /s
1.0 ppm
应答时间
10 秒
检测表示
蜂鸣器发出断续音且警报灯闪烁
电 源 ※1
5号锰干电池4节
电池使用时间
使用碱性干电池使用约9小时(使用锰干电池约3小时)
使用温度范围
0℃～ 40℃
外形尺寸
w68×h155×d32㎜
重量
约 400g
附件
皮套、排放过滤器、过滤片、检查气体、 标准附属品、5号锰干电池4本
另售的选购件
ni-cd 电池充电器、耳机