耐驰 热反射法薄膜导热系数测量仪
耐驰 热反射法薄膜导热系数测量仪 产品详情
热反射（thermo-reflectance）方法基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如：热扩散系数、导热系数、蓄热系数和界面热阻。由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应不同的基片情况（透明/不透明）。
技术参数：
nanotr
温度范围
rt
测量模式
rf/ff
样品尺寸
10*10mm … 20*20mm
薄膜厚度
rf:
金属：1 … 20μm
陶瓷：300nm … 5μm
聚合物：30nm … 2μm
ff：> 1μm
基片厚度
< 1 mm
热扩散温升时间
10ns … 10μs
热扩散系数（mm2/s）
0.01…1000mm2/s
操作系统
windows 7