操作高效便捷创新的em wizard界面更加直观，仅需要点击即可得到完美的图像。 超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。
热场式场发射扫描电镜 su5000 产品详情
热场式场发射扫描电镜 su5000
咨询打印
操作高效便捷
创新的“em wizard”界面更加直观，仅需要“点击”即可得到完美的图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。
特点规格应用实例
特点高性能电子光学系统二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kv)＊高灵敏度: 高效pd-bsd, 超强的低加速电压性能，低至100 v成像大束流(>200 na): 便于高效微区分析性能优异压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(uvd)＊开仓室快速简单换样(大样品尺寸: φ 200 mm x 80 mmh)微区分析: eds, wds, ebsd等等*：选配附件
规格项目内容
分辨率1.2 nm @ 30 kv
3.0 nm @ 1 kv
2.0 nm @ 1 kv 减速模式*1
3.0 nm @ 15 kv 低真空模式*2
放大倍率10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
电子光学系统电子枪zro /w 肖特基式电子枪
加速电压0.5 - 30 kv (0.1 kv 步进)
着陆电压减速模式: 0.1 - 2.0 kv ＊1
大束流> 200 na
探测器低位二次电子探测器
低真空模式*2真空范围: 10 - 300 pa
马达台马达台控制5 - 轴自动 (优中心)
可动范围x：0～100mm
y：0～50mm
z：3～65mm
t：-20～90°
r：360°
大样品尺寸大直径: 200 mm
大高度: 80 mm
选配探测器高分辨率顶位二次电子探测器＊1高灵敏度低真空探测器 (uvd)5分割半导体探测器 (pd-bsd)*3能谱仪 (eds)波谱仪 (wds)背散射电子衍射探测器 (ebsd)
*1：减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）*2：低真空功能（包含5分割半导体探测器）*3：空压机(本地采购)
应用实例
样品: 氧化锌粉末
着陆电压: 1 kv ; 倍率: 120,000x
低电压下顶位二次电子探测器成像
样品: ptfe
加速电压: 3 kv ; 倍率: 13,000x
uvd探测器可在低加速电压(3 kv)和低真空
(40 pa) 下获得高质量图像
关联产品分类
聚焦离子束系统 (fib/fib-sem)tem/sem样品前处理装置