应用于igs的高纯度金属隔膜阀，采用二次熔炼的sus316l作为阀体材质，有多种接口（c-seal和w-seal）可供选择。
igs金属隔膜阀 产品详情
优势
• 高纯度工艺供气生产线
• 阀体材质选用二次熔炼的sus316l，安全可靠
• w-seal和c-seal 可供选择
技术参数
尺寸
semi f83-0304
1.125” w seal
2 port
semi f84-0304
1.125” w seal
3 port
semi f86-0304
1.125” c seal
2 port
cv value(cv值)
0.24
0.24
0.27
使用压力
1.0mpa(g)
使用温度范围
-10～80℃
外部泄露
≦3x10-12 pa・m3/sec helium
阀座泄露
≦3x10-10 pa・m3/sec helium
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