（1）由于该泵是水环型，因此，如果进气中含有蒸汽或水滴，就不会出现问题。
（2）两端支撑轴承具有良好的耐久性。
（3）因为除了轴承和压盖之外没有机械接触部件，所以可以轻松进行操作和维护。
（4）低噪音泵的静音设计。
（5）对于低真空压力类型和高真空压力类型，分别使用固定端口类型和止回球类型，以使轴功率在工作范围内变小。
ebara真空泵维修 nve 产品详情
（1）由于该泵是水环型，因此，如果进气中含有蒸汽或水滴，就不会出现问题。
（2）两端支撑轴承具有良好的耐久性。
（3）因为除了轴承和压盖之外没有机械接触部件，所以可以轻松进行操作和维护。
（4）低噪音泵的静音设计。
（5）对于低真空压力类型和高真空压力类型，分别使用固定端口类型和止回球类型，以使轴功率在工作范围内变小。
模型 低真空压力型 高真空压力型
液体 空气和各种气体 空气和各种气体
温度 －15〜50℃ －15〜50℃
真空压力
（在额定条件下） 0〜-86.7kpa ｛-650㎜汞柱 大于-86.7kpa ｛-650㎜hg｝，
　 -93.3kpa ｛-700㎜hg｝
真空压力 －96kpa ｛－720㎜hg｝ ー98.7kpa ｛－740㎜hg｝
（15℃下给水） （15℃的给水）* 1
施工 系统 水环类型 水环类型
端口类型 端口油缸 端口油缸
　 　 带止回阀（球型）
轴封 压盖包装 压盖包装
轴承座 滚珠轴承或调心滚子轴承* 2 滚珠轴承或调心滚子轴承* 2
轴承
润滑 润滑脂 润滑脂
法兰盘 jis10k ff jis10k ff
用料 套管 fc200 fc200
转子 fcd450－10 fcd450－10
轴 s45c s45c
轴套 sus403 sus403
套管垫片 液体包装 液体包装
驱动系统 电机耦合或皮带驱动 电机耦合或皮带驱动