纳米操纵系统采用纳米探针模块nanoprober为显微镜或电镜下微纳操作提供纳米级微操纵方案,非常适合sem和各种电镜样品微操作使用
纳米操纵系统 产品详情
纳米操纵系统采用纳米探针模块nanoprober为显微镜或电镜下微纳操作提供纳米级微操纵方案,非常适合sem和各种电镜样品微操作使用。
纳米操纵系统布局非常方便,可快速增加或移除纳米探针模块,调整定位和方向,也可以现场远程控制。
纳米操纵系统可以与各种高分辨率电镜,sem匹配使用,采用磁性镜头设计,可与市场上主流扫描电镜联合使用,即使在加速电压低于0.5kv也能充分施展高分辨率性能。
纳米操纵系统的安装非常方便,不需要改造原有的扫描电镜,几分钟即可完成安装。
纳米操纵系统规格参数(单个纳米探针模块规格)
自由度：4个独立的自由度x,y,z,r
尺寸：主体20.5mm x 21.7x 12.5mm, 机械臂8.3mm
重量：12g
定位分辨率：stepping模式下:60nm(x,y), 120nm(z)
scanning模式下：0.02nm(x,y), 0.1nm(z)
运动范围： stepping模式：20x20mm(xy), +/-180度（r), 41度（z)
scanning模式：440x250x780nm (xyz)
运动速度：1.5mm/s (xy), 150mrad/s(z)
力/力矩： 推力0.3n (xy), 升力：0.7mnm(5g) (z)， hold力: 0.2n (xy)， 0.9mnm(6g) (z)
tilt 角：55度
漂移：<1nm /min
电学探针规格：
电压范围：+/-100v
电流范围：100ma
漏电流：<100fa/v
带宽：25mhz
电阻：约为3.5欧姆
纳米操纵系统各种布局