纳米操纵系统采用纳米探针模块nanoprober为显微镜或电镜下微纳操作提供纳米级微操纵方案,非常适合sem和各种电镜样品微操作使用
纳米操纵系统 产品详情
纳米操纵系统采用纳米探针模块nanoprober为显微镜或电镜下微纳操作提供纳米级微操纵方案,非常适合sem和各种电镜样品微操作使用。
纳米操纵系统布局非常方便,可快速增加或移除纳米探针模块,调整定位和方向,也可以现场远程控制。
纳米操纵系统可以与各种高分辨率电镜,sem匹配使用,采用磁性镜头设计,可与市场上主流扫描电镜联合使用,即使在加速电压低于0.5kv也能充分施展高分辨率性能。
纳米操纵系统的安装非常方便,不需要改造原有的扫描电镜,几分钟即可完成安装。
纳米操纵系统规格参数(单个纳米探针模块规格)
自由度:4个独立的自由度x,y,z,r
尺寸:主体20.5mm x 21.7x 12.5mm, 机械臂8.3mm
重量:12g
定位分辨率:stepping模式下:60nm(x,y), 120nm(z)
scanning模式下:0.02nm(x,y), 0.1nm(z)
运动范围: stepping模式:20x20mm(xy), +/-180度(r), 41度(z)
scanning模式:440x250x780nm (xyz)
运动速度:1.5mm/s (xy), 150mrad/s(z)
力/力矩: 推力0.3n (xy), 升力:0.7mnm(5g) (z), hold力: 0.2n (xy), 0.9mnm(6g) (z)
tilt 角:55度
漂移:<1nm /min
电学探针规格:
电压范围:+/-100v
电流范围:100ma
漏电流:<100fa/v
带宽:25mhz
电阻:约为3.5欧姆
纳米操纵系统各种布局