洁净氮气柜★洁净氮气柜产品说明：●控制方式：采用湿度/氧含量控制的方法
洁净氮气柜 产品详情
洁净氮气柜
★洁净氮气柜产品说明：
●控制方式：采用湿度/氧含量控制的方法。
●100级高洁净过滤器ffu采用美国等进口品牌。
●静音离心风机采用德国等。
●采用可选配高品质静电消除装置。
●对氮气进行前期洁净预处理。
●采用双数显式控制器，对箱内湿度或含氧量进行显示和控制（二选一）。设备具有很好的密封性能，尘埃过滤，水平或垂直送风。
●设备可由湿度和氮浓度检测显示,氮气流量控制,高洁净过滤器受阻等多个系统.
●控制仪可选配置进行温湿度含氮量数据的实时显示,输出和报警功能。
●模组化设计：本机器采用独特的模组化设计，温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换，保养及维修简便，大大提升维护效率。
★产品应用：
●适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境，只控制湿度及氧含量浓度这块，并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。洁净氮气柜则适合存放需要低湿保存，同时又需要避免灰尘污染的物品.
★规格参数：
●洁净等级：class 100
●规格尺寸：w1310*d800*h1990mm
●材质：sus304双镜面
●洁净等级：class 100
●除湿等级：5rh%以下
●温度精度：±1℃
●湿度精度：±3%rh
●层数：3层
●电压：220v50hz
★技术指标：
1）洁净等级
专业高效洁净过滤装置，滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内class 100~1000级。
2）tdh参数
即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生。
3）降湿速度
除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定盒，在氮气流量不大于70l/m的情况下，湿度从50%降至10%所需时间不大于30min；
4) 进口无尘风机：采用进口无尘室专用ffu风机，面风速：0.3～0.45m/s；
5）静电残余值（选配）
洁净氮气柜内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv
6）风速均匀性
洁净柜内有氮气的无死角，可使用风速测定仪来检测内部硅片放置各点的风速，不能有较大差异。
7）温湿度显示管理。
温湿度显示：采用4英寸超大led显示，有效视距可达30米；
温湿度显示监控: 可对温湿度作24小时不间断的监控，在洁净柜在完全关闭的情况下，湿度不能有超过±5%rh的波动。