特点：modbus总线协议材质：304/316l应用：兼容各种气体参数：量程比200:1 精度0.5%f.s类型：显示控制一体化，数字通讯描述：数字型气体质量流量控制器
dmass质量流量控制器 产品详情
产品应用
真空 镀膜 太阳能 半导体 石油石化
煤炭冶金 制气配气 环保 各种分析仪器
技术参数
技术指标: dmass质量流量控制器dmass质量流量计
量程范围: 10sccm-200slm
测控范围: 控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度: 流量：±1%读数±0.2%满量程
重复精度: ±0.2%f.s
响应时间: ≤1s
数 字 量: rs232/485，modbus协议
模 拟 量: 0～5v、4～20ma
供 电: 24v/±15v可选
工作温度: 0～50℃
工作压力: 工作压差：0.03～0.5mpa 工作压降：<0.01mpa
耐压: 3mpa
电气连接: db15孔
漏 率: 1×10-9sccshe
温度系数: ±0.015%f.s/℃
底座材质: 铝合金或316l不锈钢
密封材料: 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接 头: vcr1/4;swagelokφ6