七星华创质量流量控制器流量计
1. 使用须知…………………..……….. 1 6.2.1 开机预热 ……………………….. 17
2. 用途和特点………………………… 1 6.2.2 检查和调整零点 ………………… 17
3. 主要技术指标……………………… 3 6.2.3 通气工作 ………………………… 17
4. 结构和工作原理…………………… 4 6.2.4 关机 ………………………………
七星华创质量流量控制器流量计 产品详情
七星华创质量流量控制器流量计
质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册1. 使用须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 d07 系列质量流量控制器/质量流量计产品。本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标志的文字及注意事项中包含的所有内容。对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。本手册对您安装、维护及故障维修时，请妥善留存保管。2. 用途和特点质量流量计(mass flow meter 缩写为 mfm)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(mass flow controller 缩写为 mfc)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。d07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便,可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。d07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 d08 系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接
七星华创质量流量控制器流量计
3. 主要技术指标表 1. d07-19b 型 mfc 性能指标编号 项 目 d07-19b1 流量规格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) sccm( 0~1,2,3,5,10,20,30) slm2 准确度 ±1 % f.s. (20,30slm: ±2 % f.s.)3 线性 ±0.5 % f.s. (20,30slm: ±2 % f.s.)4 重复精度 ±0.2 % f.s.5 响应时间 ≤2 sec6 工作压差范围 ≤10slm： 0.1 ~ 0.5 mpa (14.5~72.5 psid)＞10slm： 0.1~ 0.3 mpa (14.5~43.5 psid)7 最大工作压力 1 mpa8 耐压 3 mpa (435.1 psig)9 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃10 输入输出信号 0 v ~ +5.00 v(输入阻抗大于 100k, 输出电流不大于 3ma)11 电源 +15 v 50 ma; -15v 200 ma12 外形尺寸 见图 413 重量 0.95 kg注意 :质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（n2）标定。质量流量的单位规定为: sccm (标准毫升/分); slm (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15k ( 0℃ ); 气压 — 101325 pa (760mm hg)在七星流量计 mfc/mfm 产品中心，单位 sccm 和“ml/min, 0℃,1atm”等同，单位 slm 和“l/min, 0℃,1atm”等同。 第 4 页 共 28 页f.s. (full scale): 满量程值表 2. d07-19bm 型 mfm 性能指标编号 项 目 d07-19bm1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) sccm( 0~1,2,3,5,10,20,30) slm2 准确度 ±1 % f.s. (20,30slm: ±2 % f.s.)3 线性 ±0.5 % f.s. (20,30slm: ±2 % f.s.)4 重复精度 ±0.2 % f.s.5 响应时间 ≤2sec6 气压降 <0.02 mpa (2.9 psid)7 最大工作压力 1 mpa8 耐压 10 mpa (1450.4 psig)9 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃10 输出信号 0 v ~ +5.00 v(输入阻抗大于 100k, 输出电流不大于 3ma)11 电源 +15 v 50 ma－15 v 50 ma12 外形尺寸 见图 413 重量 0.7 kg各型号产品的主要技术指标见表 1 和表 2。d07-19bm 型是 d07-19b 型的流量测量部分，同类型的 mfm 与 mfc 在流量计量部分的技术指标相同。4. 结构和工作原理4.1 结构质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和 pid 控制电路就构成了质量流量控制器。d07-19b 型质量流量控制器, 打开外罩后的结构如图 2 所示。