日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
日本kofloc5100系列质量流量控制器-内抛光
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
内部抛光ra≤0.1，杜绝二次污染介质
±15vdc供电性能稳定，0-5v模拟信号更加通用
适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合
日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器 产品详情
日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
日本kofloc5100系列质量流量控制器-内抛光
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
内部抛光ra≤0.1，杜绝二次污染介质
±15vdc供电性能稳定，0-5v模拟信号更加通用
适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合
日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
性能参数：
量程(n2)
1sccm-20slpm
精度
±1.0%fs
重复性
±0.2%fs
响应时间
1秒以内
耐压
1.0mpa
进口大压力
o.3mpa
动作压差
0.05-0.3mpa
泄漏率
1*10-11pa·m³/s以下
内抛光
ra≤0.1
温度范围
5-45℃
湿度范围
10-90%rh(不能结露)
材质
本体sus316l
密封圈sus316l、ptfe
电气接口
db9
模拟信号
0-5v输入/输出
供电
+15vdc(±5%)100ma；-15vdc(±5%)100ma；
管路连接
标配1/4ujr
选配1/8ujr
重量
约1000g
★使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0mpa，进口大压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。