该产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理；
目前已被各种试样实验多次验证，并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域；
该系统主要用于：
1.可满足离子注入后的快速退火；
2.也可用于欧姆接触快速合金；
3.还可用于硅化物合金退火，氧化物生长；
4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。
该设备是国家专利保护产品，专利号：cn201310005931.6
rtp快速退火炉主要技术参数
1
项 目
主要技术指标
数据
2
规格型号
nbd-hr1100
3
温度控制
最高温度点
1200℃
4
额定温度
1100℃
5
稳定状态温度范围
100～1000℃
6
温度测量精度
±0.2℃
7
温度控制重复性
±1℃
8
温度控制精确度
±1℃
9
温场均匀性
±2℃
10
温度状态工艺时间（s）
2～100（100～1000℃）
11
最快升温速率
500℃/s
12
降温速率（℃/s）
1～200（通氮气，速率更快）
13
温度控制模式
智能模糊全闭环控制
14
软件功能
操控系统
nbd-101智能系统
15
用户界面
中英文互换
16
工艺菜单编辑
触屏式图像操作界面
17
扩充端口
可扩充真空测控和ffc供气
18
看门狗
系统进入死循环时关闭主控制器
19
热电偶校准状态检测
软件校准，方便准确，软件分析传感器状态是否正常
20
超高温状态检测
软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路
21
触摸屏尺寸
7lcd
22
物理指标
最大功率
15kw
23
额定电压
ac380～400v，50hz（60hz定制）
24
传感器类型
s型单铂铑
25
反应腔室内径尺寸
φ100x200mm
26
式样有效空间
3.5
27
真空度
4.3×10pa(外配分子泵）
28
抽气端口尺寸
kf16（或φ8mm宝塔嘴）
29
供气口尺寸
φ6.35mm双卡套
30
冷却方式
自然冷却或强迫风冷n2或压缩空气：2psi(0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2)
31
外形净尺寸（mm）
长920×深500×高560
32
重量
约40kg

---

河南诺巴迪材料科技有限公司
蔡永国
18103715723
新郑市薛店工业园