teledyne公司的dv-4和dv-6热电偶真空计管,生产具有优异的稳定性,准确性和在最苛刻条件下的可靠性真空测量设备。这些真空传感器校准的氮气或空气,对其他气体换算系数是由工厂提供。 vt系列测量仪表需单独购买:vt4系列, vt5系列, vt6系列 dv-6
特性
•现场使用的可靠性 •量程- 0.001托- 1托 (1 - 1000毫托) •控制点可选
附件
•nist的的溯源的仪表校准规管 •快速连接 •装置和过滤器 •延长电缆
应用
•研究与开发 半导体工艺 •等离子镀膜/溅射 •低温罐/杜瓦瓶 •真空炉 •二次灌注气瓶 •负载锁 •照明/霓虹灯招牌 •化学加工
热偶规管(传感器) 规格 dv-4 系列热偶规 dv-5 系列热偶规 dv-6 系列热偶规
配置测量器/读数仪 vt-4 vt-5 vt-6
仪表校准规 db-16d db-18 db-20
量程 0.01 - 20 torr (100 - 20,000 mtorr) 0.0001 - 0.1 torr (0.1 - 100 mtorr) 0.001 - 1 torr (1 - 1,000 mtorr)
最敏感区间 0.2 - 5 torr (200 - 5000 mtorr) 0.0001 - 0.1 torr (0.1 - 100 mtorr) 0.001 - 1 torr (10 - 200 mtorr)
响应时间(秒)大气压- 0 0.16 25 2.9
响应时间(秒)0 – 大气压 0.04 0.8 0.06
系列成员
标准型 dv-4d dv-5m dv-6m
加固型 dv-4r - dv-6r
vcr dv-4d-vcr dv-5m-vcr dv-6m-vcr
vcrl (长) - - dv-6m-vcrl
kf-16 dv-4d-kf 16 - dv-6m-kf16
kf-25 dv-4d-kf 25 - dv-6m-kf 25
小型 conflat - - dv-6m-cf
高温型 dv-34 - dv-36
加固/抗震带室外防护壳 - - dv-6s
耐热玻璃 - - dv-20
约重 0.1-0.2 lbs(45-91g) 根据不同型号 0.1-0.2 lbs(45-91g) 根据不同型号 0.1-0.3 lbs(45-13.6g) 根据不同型号

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