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爱德华 有源潘宁真空规EDWARDS EDWARDS爱德华有源潘宁真空规

2021-9-24 18:35:26发布43次查看

   真空规管,真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域,如真空镀膜,太阳能集热管制作,真空冶炼等。
按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
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姬小龙
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