ns离子蚀刻机 10ibe ：适合小规模量产使用和实验室研究，一般通氩气 ar，无污染，内部使用美国 kri 考夫曼离子源kdc 40 产生轰击离子；终点检出器采用 pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分，判断刻蚀情况。
基板尺寸
< φ8 x 1wfr
 可选
样品台
直接冷却（水冷）0-90 度旋转
离子源
4 cm,8cm,10cm,16cm
考夫曼离子源
均匀性
±6% for 4”ф
硅片刻蚀率
20 nm/min
温度
<100
伯东离子蚀刻机主要优点：
1. 干式制程的微细加工装置，使得在薄膜磁头，半导体元件， mr sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。
2. 物理蚀刻的特性，无论使用什么材料都可以用来加工，所以各种领域都可以被广泛应用。
3. 配置使用美国考夫曼公司原装制造的离子源。
4. 刻蚀角度可以任意调整，蚀刻可以根据需要做垂直，斜面等等加工形状。
5. 基板直接加装在直接冷却装置上，所以可以在低温环境下蚀刻。
6. 配置公转自转传输机构，使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。
7. 机台设计使用自动化的操作流程，所以可以有非常友好的使用生产过程。
上海伯东主营真空品牌:德国pfeiffer真空设备;美国brookspolycold冷冻机;美国kri考夫曼离子源;美国hva真空闸阀:美国intest(temptronic)高低温循环试验机;日本ns离子蚀刻机等。
日本伯东株式会社，成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司系日本伯东株式会社在中国投资的全资公司，公司主要从事半导体设备、电子零部件等加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东企业（上海）有限公司的总部在上海，同时在中国的北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门都设有办事机构。
伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部销售众多国际知名真空品牌，代理品牌包含：德国 pfeiffer 全系列真空产品、美国 kri 考夫曼离子源、美国 brooks  polycold 制冷机，美国hva真空阀门，美国 intest温度气流控制设备，日本 ns 离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为众多国际知名真空品牌指定授权代理商，负责在中国地区的销售同时提供完善的售后维修服务。公司在上海，深圳及厦门等全国重要区域都设有我们产品的销售和维修中心，可为广大客户提供全系列产品的维护及保养服务工作，100%使用原厂进口零件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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伯东企业（上海）有限公司
叶小姐
13918837267
上海市外高桥保税区希雅路33号17号楼B座3层，200131