- 加工定制：是
- 类型：半导体测试
- 品牌：美国CASCADE
- 型号：ON-WAFER
- 含量≥：
- 测量范围：
- 测量频率：
- 测量精度：
- 适用范围：
- 重量：
- 尺寸：
美国cascade-iwatsu on-wafer 功率半导体sic/igbt 探针台测试系统
产品简介：cascade-iwatsu tesla 是业界首个功率器件测量系统，它提供了一款用于在高达 400a的电流和 3000v 的电压条件下进行功率半导体的过热、低接触电阻测量的完整晶圆上解决方案。该新系统采用了两款新型晶圆探针和一种全新的晶圆吸盘技术。
tesla 解决了薄晶圆、功耗以及电流/电压要求的难题
hcp）探针专为满足rds(on) 测量要求而设计。独特的设计最大限度地抑制了探针至晶圆触点上的热失控，并支持高达 10a（在连续模式中）和高达 60a（在脉动模式中）的电流。
高电压参数（hvp）探针在高达 3000v 的电压条件下实现了漏电流低至 1pa 的击穿电压测量。exclusive vacuchannel™ 吸盘技术运用针对薄晶圆（薄至 100μm）的先进传送方法满足了当今功率器件晶圆的需要。此外，vacuchannel 技术传送功率耗散器件的方式也不同于市面上现有的其他解决方案，实现了功耗高达 75w 的器件的晶圆上测量。
长沙力高捷创仪器有限公司
吴玉进
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