fma-2600a系列质量与体积流量控制器在层流场中使用差压原则来确定和控制质量流速。流量计中的层流元件(lfe)迫使气体进入层流。泊肃叶方程规定，在这一区域体积流速与压力下降呈线性关系。使用压差传感器衡量lfe固定距离中的压力下降情况。同时结合气体的粘度准确判定体积流速。引入单独的juedui温度和压力传感器，并根据一系列标准条件纠正气体流速。这种标准流速俗称质量流速，并使用每分钟标准立方英尺(scfm)或每分钟标准升(slm)等单位表示。该控制器采用连接到流体的真正比例阀，通过一体化pid回路控制器控制流体。标准设备包括0 ~ 5 v输出（可选4 ~ 20 ma）和rs232通讯。可通过前面板键盘或rs232通讯调整气体选择功能和设定值。体积 流量、质量流量、juedui压力以及温度均可以通过rs232连接查看或记录。同时，在距离为46 m (150')的同一串口连接上，最多可与26台设备进行多点通讯。
气体质量流量控制器和流量计工作原理，流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。
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