Entegris 应特格气体纯化系统/纯化器配MOCVD设备 LED

2021-8-20 19:08:34发布14次查看

英特格（entegris） aeronex 气体纯化系统主要有氢气、氨气、氮气、xcda等，可在线实时再生，广泛应用在mocvd, 光刻等生产线。
型号如下：
pgps4h 面板式安装，最大流量至120slpm
egps4h 最大流量至120slpm
egps8h 最大流量至300slpm
egps12h 最大流量至1000slpm

北京喜得福莱自控设备有限公司
李春强
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