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海德创业（北京）生物科技有限公司111
海德创业（北京）生物科技有限公司成立十余年来，经公司全体员工不懈努力、进取和广大用户的支持理解，在生命科学、材料科学领域都获得了长足的发展和进步，与众多的高校和研究所建立了良好的合作关系。展望未来，我们会继续本着“优质的服务是公司的根本”这一信条，不骄不躁，继续前行。您的成功，我们的期待！
ems150t的机壳是整体成型的，结构坚固耐用，配有气冷的70l/s的涡轮分子泵，自动进气控制保证了溅射期间最佳的真空水平，真空腔室直径为165mm并带有防爆装置。ems150t具有“真空闭锁”功能，可在设备不工作时维持腔室的真空度，从而保证高真空的性能。ems150t系列全自动高真空离子溅射/热蒸发一体化镀膜仪给用户以类似傻瓜相机的简单操作、顶级的镀膜质量和对熟手/新手都很理想的用户界面，让用户真正领略至臻完美的镀膜品质！
根据不同的应用方向，ems150t细分为三个型号：
ems150ts：高分辨率溅射镀膜仪high resolutionturbomolecular pumped sputtercoater，可溅射易氧化和不易氧化金属，可选各种溅射靶材，包括场发射电镜常用的铱和鉻。
ems150te：高真空镀碳仪，可制作高稳定的碳膜和表面覆形膜，是tem应用最理想的选择。
ems150tes：集合了离子溅射和热蒸镀两种真空沉积镀膜方式，镀膜头可在几秒内快速更换，只能逻辑系统自动识别所装的镀膜头类型，并显示相应的操作模式。
注：上述各型号都可配备如下可选的附件：金属蒸镀、碳丝蒸镀、膜厚测量等
触摸屏控制：
ems150t操作十分简单，直观的触摸屏，即使最不熟练的操作者也可以自由操作，同时可方便的键入和存储数据。为了方便使用，设备中已经预存一些了典型的溅射和蒸发镀膜参数资料。
镀膜插入头选项：
具有一系列可互换、即插即用的镀膜插入头
溅射插入头适用于易氧化和不易氧化金属材料，直径57mmx0.3mm厚鉻靶为标准靶材
可用另外的溅射插入头来快速更换镀膜材料（仅为ts和tes型号）
适用于3.05mm碳棒蒸发插入头
适用于6.15mm碳棒蒸发头，建议使用3.05mm直径的碳棒，它们更容易控制、更经济
碳丝蒸发插入头
金属蒸发和光阑洁净头，包括向上蒸发或向下蒸发（仅为te和tes型号）
样品台选项
ems150t具有各种易更换的样品台，drop-in落入式设计具高度可调（除旋转行星台）。
标准配置为旋转台, 直径为50mm
可预设倾斜角度的旋转台（可选）
可变角度旋转行星台（可选）
可用于4〞晶圆的平面旋转台（可选）
显微镜载玻片样品台（可选）
其它选项
用于高样品的加高腔室
膜厚监测器（ftm）
用于测量低和高真空的全范围真空计
特点和优点:
金属溅射或碳蒸发或两者兼备：一体化设计，节约空间
精细颗粒溅射：高分辨率场发射扫描电镜（fe-sem）制样的精细镀膜应用
涡轮分子泵高真空系统：允许不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材的溅射镀膜，大大拓宽了可溅射靶材范围，既适合普通sem、高分辨率fe-sem镀膜制样应用，也为许多薄膜应用等材料科研领域提供理想的镀膜平台
全自动触摸屏控制：快速数据输入，简单操作
可储存多个客户自定义镀膜方案：对多用户实验室十分理想
与镀膜过程和镀膜材料相匹配的预编程自动真空控制
精细的厚度控制：使用膜厚监控选项
“智能”式系统识别：自动感知用户所装的插入式镀膜头的类型
高真空碳蒸镀：对sem和tem镀碳膜应用非常理想
蒸发电流波形控制
drop-in落入式快换样品台（标配旋转台）
真空闭锁功能：可让工作腔室处于真空状态，改善后续真空效果，或在真空条件下保存样品
镀制厚膜能力：一次真空条件下的溅射时间可长达60分钟（材料科研领域的应用）
人体工程学设计的整体成型机壳：易维护和易拆装
带有本地ftp服务器连接的以太网端口：简单的程序更新
设有功率因素补偿，有效利用电能，降低运行成本
符合当前电器法规（ce认证）
ems150t仪器参数：
仪器尺寸
585mm宽*470mm*410mm高(总高650mm)
重量
33.4kg
工作腔室
150mm（内径）*127mm（高）硼硅酸盐玻璃腔室，并带整体安全防护罩
触摸屏用户界面
带有触摸按钮的全图像界面，包含多达十个镀膜程序，可提醒何时需要维护
工作腔室
150mm（内径）*127mm（高）硼硅酸盐玻璃腔室，并带整体安全防护罩
样品台
转速为8-20rpm的旋转台
真空系统
涡轮子分子泵：带有内部空气却的涡轮分子泵，抽速为70l/s
旋转机械泵：抽速为50l/m的两级旋转机械泵，带有油污过滤器
真空测量
皮拉尼真空计作为标配
极限真空度
10-5mbar两级
电源需求
90-250v~50/60hz 1400va（ 包括旋转机械泵电压240v）
气体
溅射工作气体氩气，99.999%（ts和tes版本）；氮气，放气破真空气体（可选）
金属蒸发和光阑清洁头
用于源自钨丝篮或舟的金属热蒸发。可配备一个标准钼舟用于清洁sem或tem光阑
碳蒸发
稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发，确保源自碳棒或碳丝的可重复蒸碳
电流脉冲
1-90安培
溅射
0-150ma。可预设膜厚（需ftm选项）或使用内置定时器
溅射工作真空范围
5*10-3到5*10-1mbar
溅射靶材和碳耗材供应
ems150ts和ems150tes标配铬靶，但可选用的其它靶材范围很宽，包括那些广泛用于sem制样的靶材，如：au金靶，au/pd金钯，pt铂靶，和iridium铱靶。对非sem应用，可选用的靶材包括：ai铝，ta钽，ito氧化铟锡，fe铁，w钨，ti钛，等等：碳制品包括高纯度碳棒和碳丝纤维
仪器选购：
货号 产品名称
3390
ems150t e turbomolecular pumpedcarbon evaporator suitable for tem and sem applications. fittedwith a carbon rod evaporation insert for 3.05mm ø carbon rods.supplied with carbon rods (3.05mm ø x 300mm) and a carbon rodshaper (manual operation)
3380
ems150t s - high resolutionturbomolecular pumped sputter coater, including a 54mm ø x 0.3mmchromium target
3400
ems150t es - high-resolutionturbomolecular pumped sputter coater, including a 57mm ø x 0.3mmchromium target and high vacuum carbon rod evaporation coater for3.05mm ø carbon rods.
91003 edwards rv3 50l/s two-stage rotary pump, withvacuum hose, coupling kit and oil mist filter
可选配件：
货号 产品名称
3200
sputtering head insert suitable for oxidizing andnon-oxidizing metals. supplied with a 54mm x 0.3mm thick chromiumtarget as standard. for additional targets see sputtering targetssection
3210
additional sputter insert for quick metal change.note: this is an entire sputtering assembly.
3230
carbon rod evaporation head insert (for 3.05mm ørods)
3240
carbon rod evaporation head insert (for 6.15mm ørods). note that ems recommends 3.05mm ø rods as they offer greaterprocess control and are more economical (less wastage).
3250
carbon fiber evaporation head insert
3260
metal evaporation and aperture cleaning headinsert, including the ability to evaporate upwards or downwards (te and t es versions only). supplied with a pack of ten tungstenfilaments and a molybdenum boat.
3270
extended height vacuum chamber (214mm high – thestandard chamber is 127mm high). for increased source to sampledistance and for coating large specimens
3280
vacuum spigot allows more convenient connection ofthe vacuum hose to the rear of the ems150t when bench depth islimited
3290
film thickness monitor (ftm) attachment. consistsof a built in chamber mounted quartz crystal oscillator (includescrystal). as sputtered or evaporated material is deposited onto thecrystal, so its frequency of oscillation is modified. this‘modification’ is used to measure and control the thickness ofmaterial deposited
3300
spare quartz crystals. pack of three
3320
full range vacuum gauge for low and high vacuummeasurement (a low vacuum pirani gauge is fitted as standard)
4513
glow discharge insert to modify surface properties(eg hydrophobic to hydrophilic conversion) or to clean surfaceresidues (ts and t es only). can be retrofitted
3600
metal evaporation basket - pack of 10 (for use withmetal evaporation head)
3610
two-year spares kit for ems150t s includes:chromium target, glass cylinder, carbon fibre cord, quartzcrystals, o-rings
3620
two-year spares kit for ems150t e includes:chromium target, glass cylinder, carbon fibre cord, carbon fibre -fine, carbon rods 3.05mm, quartz crystals, o-rings
3630
two-year spares kit for ems150t es includes:chromium target, glass cylinder, carbon fibre cord, carbon fibre -fine, carbon rods 3.05mm, quartz crystals, o-rings
样品台选件;
货号 产品名称
3330
rotation stage, 50mm ø (supplied as standard). thisstage only rotates – no tilt or height adjustment
3340
rotate-tilt specimen stage with adjustable tilt (upto 90 degrees) and height (37mm-60mm). tilt angle can be pre-set.50mm ø specimen platform with six stub positions for 15mm or 6.5mmor 1/8 pin stubs. stage rotation speed variable between 8 and20rpm
3350
variable angle “rotacota” rotary planetary stagewith 50mm ø specimen platform. has six stub positions for 15mm or6.5mm or 1/8 pin stubs. stage rotation speed variable between 8and 20rpm
3360
flat rotation specimen stage for 100mm / 4” wafers,includes gearbox for increased coverage. stage rotation speedvariable between 8 and 20rpm
3370
rotating specimen stage for glass microscope slides(up to two x 75mm x 25mm slides). stage rotation speed variablebetween 8 and 20rpm. includes gear box to allow optional ftm to beused
溅射靶材和碳耗材选项：
货号 产品名称
3410
57mm ø x 0.1mm gold
3411
57mm ø x 0.1mm gold/palladium (80/20)
3412
57mm ø x 0.1mm platinum
3413
57mm ø x 0.1mm nickel
3414
57mm ø x 0.1mm silver
3415
57mm ø x 0.1mm palladium
3416
57mm ø x 0.1mm copper
3417
57mm ø x 0.3mm chromium
3418
57mm ø x 0.5mm tungsten
3419
57mm ø x 1.5mm chromium
3420
57mm ø x 0.2mm tungsten
3421
54mm ø x 1.5mm carbon
3422
57mm ø x 0.1mm aluminium
3423
57mm ø x 0.1mm platinum/palladium (80/20)
3424
57mm ø x 1.5mm titanium
3425
57mm ø x 0.3mm platinum/palladium (80/20)
3426
57mm ø x 0.3mm gold
3427
57mm ø x 0.3mm gold/palladium (80/20)
3428
57mm ø x 0.3mm platinum
3429
57mm ø x 0.5mm titanium
3430
57mm ø x 0.1mm iron
3431
57mm ø x 0.3mm iridium
3432
57mm ø x 0.1mm cobalt
3433
57mm ø x 0.1mm tin
3434
57mm ø x 0.1mm molybdenum
3435
57mm ø x 0.3mm magnesium
3436
57mm ø x 0.1mm tantalum
3437
57mm ø x 3mm indium tin oxide (90/10)
3500
carbon rods – 6.15mm ø x 100mm length (unshaped)pack of 10
3510
carbon rods – 6.15mm ø x 50mm length (shaped) packof 10
3520
carbon rods - 3.05mm ø x 50mm length (shaped) packof 10
3530
carbon rods 3.05mm ø x 300mm length (unshaped) packof 10
3540
carbon fibre cord - high purity - 1m
3550
carbon fibre cord - high purity - 5m
3560
carbon fibre cord - standard grade - 1m
3570
carbon fibre cord - standard grade - 10m
3580
carbon fibre cord - standard grade - 100m
3590
manual rod shaper for 6.15mm ø carbon rods
3595
manual rod shaper for 3.05mm ø carbon rods

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张北
15910716037
北京市回龙观