小型日本进口真空溅射镀膜机svc-700rf ii（绝缘膜，氧化膜用）
产品主要特点：
绝缘膜，氧化膜的镀膜为主要目的设计。
功能齐全，体积小。
价格低廉的磁控溅射设备。
可根据基板的尺寸的不同，有两种机型可供选择。
产品的主要规格参数：
svc-700rfⅱ type-ⅰ svc-700rfⅱ type-ⅱ
溅射阴极 水冷磁控  φ2inch×3源， φ4inch×1源 水冷磁控 φ2inch×3源， φ4inch×2源， φ6inch×1源
溅射方向 向上
rf电源 300w13.56mhz手动匹配箱
真空腔 φ230mm×h200mmsus制，视窗/附水冷管 φ320mm×h325mmsus制， 视窗/附水冷管
真空泵 tmp：260l/sec(@n2)　rp：100l/min
极限真空度 10-5 pa　台
真空测定 prani真空计/电离真空计
气体导入机构 mass flow controlorar：30sccm
尺寸重量 主机：w744/d595/h1046mm　约140kg
控制盘：w570/d800/h1428mm　约115㎏
电源 单项100v50/60hz3kva
可选项：
1.基板加热模块（300/600/1000度）
2.基板冷却模块。
3.基板旋转倾斜模块。
4.水晶振子式膜厚监测器
5.气体导入管路追加
如果其它需要求请向我司咨询。

---

爱锐精密科技（大连）有限公司
刘忠后
15640996933
辽宁大连市金州区金马路120号福佳国际大厦611室