micro-vu系列产品
产品名称：excel 654
所属分类：micro-vu 非接触三坐标
中文
基本规格
excel 654um excel 654uc
测量体积
600×650×400mm
外形尺寸
1311×1604×2088mm
重量
1500kg
容量
100kg
床台材质
花岗岩
电源要求
93 - 264vac,47 - 63hz,10amp
x，y轴精确度
u= 3.0 +l/300μm
z轴精确度
u= 3.0 +l/150μm
x，y加速
1000mm/s²
z加速
500mm/s²
x，y速度
150mm/s²
光栅尺分辨率
0.1μm
轮廓光，同轴光，表面光
红光led技术（黑白机种使用）
白光led技术（彩色机种使用）
光学镜头/倍率范围
12 * opucal/2.5 * digital programmable zoom/15x-1200x
环境
20℃（680f）± 20,30-80％humidity
english
physical
excel 654um excel 654uc
measuring volume
600×650×400mm
external dimensions
1311×1604×2088mm
weight
1500kg
capacity
100kg
base material
granite
power requirements
93 - 264vac,47 - 63hz,10amp
xy accuracy
u= 3.0 +l/300μm
z accuracy
u= 3.0 +l/150μm
x,y acceleration
1000mm/s²
z acceleration
500mm/s²
x,y speed
150mm/s²
scale resolution
0.1μm
illumination source
red leds
white leds
optics/magnification
12 * opucal/2.5 * digital programmable zoom/15x-1200x
environmental
20℃（680f）± 20,30-80％humidity
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