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海德创业（北京）生物科技有限公司111
海德创业（北京）生物科技有限公司成立十余年来，经公司全体员工不懈努力、进取和广大用户的支持理解，在生命科学、材料科学领域都获得了长足的发展和进步，与众多的高校和研究所建立了良好的合作关系。展望未来，我们会继续本着“优质的服务是公司的根本”这一信条，不骄不躁，继续前行。您的成功，我们的期待！
适合sem（扫描电镜）、fe-sem（场发射扫描电镜）、tem（透射电镜）。ems300r t 与ems150r t相似，明显区别是ems300rt腔室足够大，达到203mm，采用旋转真空泵抽真空；此外，它配备三个独立的溅射头，确保靶材粒子在大样本上的沉积效果。适合溅射不易氧化的贵金属如金、金/钯、铂等。（注意：既能溅射不易氧化金属，又能溅射易氧化金属，另见ems300tt） 。
特征参数
1、 可以进行超大样本（直径至203mm）的金属镀膜
2、 三个溅射头确保溅射沉积质量
3、 单靶材选择功能，可以进行小样本镀膜
4、 多种金属靶材比如金、金/钯、铂等可选
5、 选择装配膜厚监测仪可以精确控制膜厚
6、 全自动触摸屏控制，快速数字输入，操作简便
7、 可以储存不同用户的程序
8、 能够记录100个最新镀膜细节
9、 真空自动控制，且具有真空保持功能
10、 落入式样品台拆装方便（标配是旋转样品台）
11、 最长60分钟不间断镀膜能力
12、 符合人体工程学的整体注塑机身
13、 电气符合ce要求
14、 三年质保
样品台
ems300rt有多种型号的样品台可以选择，用于满足目前大部分需求。落入式设计使得不同型号的样品台之间更换简便，样品台除了行星台外其高度均可调，旋转速度在预设范围内实现可调。
扁平样品台，用于晶圆的镀膜（152mm-203mm），标配旋转样品台，50mm，不能倾斜旋转倾斜样品台，50mm，高度可调（靶材与样本之间的距离在30-80mm之间可调），倾斜角度在0-30度之间用于拨片的旋转台加高腔室：需要时可以得到（付费） 仪器参数：仪器外形尺寸
585mm w x 470mm d x 410mm h (total height withcoating head open: 650mm)
重量
36.4kg
包装尺寸
725mm w x 660mm d x 680mm h (44.8kg)
工作腔室
高硼硅玻璃283mm id x 127mm h
安全保护
整体pet套筒
显示
145mm x 320mm x 240mm tft彩显
使用者界面
直观的图形界面，触摸键。记忆功能：维护提醒及最后100个镀膜方案日志记录
溅射靶材
标配三个57 mm ø x 0.1 mm金靶 (sc502-314a)
真空
旋转真空泵
50l/m two-stage rotary pump with oil mist filter.order separately, 91005.
真空监测
皮拉尼测量
极限真空度
洁净系统可达 2x10-2 mbar，充氮气
样品台
标配晶圆样品台，152mm-203mm，旋转速度可调。
溅射
根据镀膜厚度或内置的计时器，溅射电流范围在0-80ma ，最长溅射时间不超过60分钟
其它重要信息
需要气体
氩气 99.999%，氮气可选（排气时需要）
电源
90-250v 50/60hz 1,400va including rv3 rotary pumppower. （注意电压的选择）
电气标准
符合电气ce认证要求
订购信息：
货号
产品
规格
ems300r t
ems300r t 大样品离子溅射镀膜仪large-chamber-rotary-pumpedsputter coater, fitted with three sputtering heads to ensure evenmetaldeposition. include three 57mm ø x 0.3mm gold (au) sputtertargets. a flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm wafersis fitted as standard
each
91005
爱德华旋转真空泵（单独购买）edwards rv5 90l/s two-stage rotarypump, with vacuum hose, coupling kit and oil mist filter
each

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张北
15910716037
北京市回龙观