本公司为国内精密仪器设备领域的专业厂商，为各大工厂、高校、研究所提供一流的设备，和生产、实验解决方案。
具体价格请联系客服或致电本公司，量大优惠
黄经理
联系电话：18551070880
小型磁控溅射镀膜仪参数指标
1.腔室尺寸：ф120×180mm，304优质不锈钢材质，氩弧焊接，带玻璃观察罩；
2.样品台尺寸：ф30 ~75mm，高度：60～120mm可调；
3.真空系统：合资机械泵+分子泵；采用电磁挡板阀及限流阀；（选配）
4.极限真空：8.0×10-5pa；
5.真空抽速：大气～8×10-4pa≤20min；
6.真空测量：全量程复合真空计，测量范围：105pa～10-5pa；（选配）
7.磁控靶：φ2英寸2只（含靶挡板），兼容直流电源和射频电源；
8.溅射电源：500w直流溅射电源和300w自动匹配射频电源可选；
9.质量流量计：进口20sccm、50sccm质量流量控制器各一套；
10.控制方式：具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；
11.设备外形：l60cm×w60cm×h96cm机电一体化机架，预留1个kf25法兰接口；
12.设备供电总功率≤2kw，220v，单相三线制（一火一零一地）；
13.设备集成度高，可以直接放置于实验桌面上，需要拆卸的部分采用即插即用的方式，接线及安装调试便捷简单；
14.设备整机可置于手套箱内，水、电、气等通过kf40接口接到手套箱外，与手套箱的对接灵活方便；

---

常州鸿明仪器科技有限公司

18551070880
中国 常州