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仪器简介：
hm-etd-2000c 溅射仪是依据二极(dc)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。满足电镜实验室的扫描电子显微镜（sem）样品制备和非导体材料实验电极制作。
技术参数：
配置参数如下：
- 仪器尺寸 ： 400mm×300mm×400mm（l×w×h）
- 真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm（d×h）
- 靶（上部电极）： 50mm×0.1mm（d×h）
- 样品台： 50mm (d)
- 操作真空： 4×10-1mbar至2×10-2mbar
- 工作电压： 0-1600v (dc)可调
- 溅射电流： 0-50ma
- 溅射定时： 1-9999s
- 蒸碳电流 0-10a(ac)
- 真空泵： 2升两级机械旋转泵（极限真空2×10-2mbar）
常州鸿明仪器科技有限公司
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